超细碳化钨粉研究工艺

【中钨在线新闻网-钨新闻】

难熔金属钨合金具有一系列优良的物理性能，在包括半导体制造业在内的诸多产业中有着广泛的应用。超细钨粉、碳化钨粉以及超细钨复合粉末是制备高质量钨基电触头材料、电子封装材料、集成电路难熔栅和阻挡层的溅射靶材、电子发射材料等的主要原料。超细钨粉、碳化钨粉等的质量直接影响着这些钨基电子材料产品的最终性能，因此如何以较低成本高效地生产出优质超细钨粉、碳化钨粉对半导体制造产业有着重要的意义。

制备超细碳化钨粉实际上是超细钨粉的碳化过程。钨粉的粒度和粒度组成是影响碳化钨粉粒度和粒度组成的最主要因素。由于碳化过程主要是靠钨粉颗粒表面与含碳气体反应以及固体炭黑向钨粉内部扩散来实现的，因此，碳化温度、碳化时间、物料碳含量等对碳化钨粉末粒度的影响相对较小。通过实验反复验证制定了制备碳化钨粉的工艺制度，并制备出了粒度均匀的超细碳化钨粉。  超细钨粉、碳化钨粉存在分散性、均匀性差等问题。采用气流粉碎分级技术可以在很大程度上消除粉末的团聚现象，并且可以使粉末进一步细化、粒度分布合理。采用气流粉碎分级设备进行处理生产效率高、能耗小，并且操作简单，容易控制。制备的超细颗粒粉末分散性、均匀性大大提高，粒度组成得到明显改善；降低生产过程控制难度，彻底解决传统生产过程中的球磨、过筛难度大的问题，大大提高生产效率，缩短了生产周期。

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