中美蓝晶研发出大尺寸C轴蓝宝石单晶提拉及PSS技术
9月27日,中美晶和其子公司中美蓝晶以及兆远联合举办“高效率白光LED照明之关键技术暨材料开发”成果发表会,中美蓝晶发表大尺寸C轴蓝宝石单晶的提拉技术,以及大尺寸高均匀度的图案化蓝宝石基板(PSS)技术。
中美晶表示,目前市面上量产的蓝宝石皆采取KY法长晶、晶体沿A轴生长,但LED基板应用轴向却是C轴,晶体必须再度加工钻取,整体利用率仅有30%。而中美蓝晶开发的C轴蓝宝石单晶直拉技术能让晶体直接顺着C轴生长,不需再经过钻取加工,因此晶体利用率可以从传统长晶法的30%一举大幅推升至70%以上,除此之外,由于加热方式及热场设计差异,更可以大幅降低长晶的平均电力消耗。
除了开发大尺寸单晶长晶技术外,中美蓝晶也研发大尺寸芯片精密加工技术及高效率微奈米图案化技术,为国际上极少数同时具备KY长晶、直拉长晶、高品质WPSS及DPSS制程技术的公司,并拥有多项国内外发明专利,可以提高客户外延品质及LED亮度。
中美晶表示,虽然目前国内蓝宝石基板的市场主要仍以2"及4"为主,中美蓝晶率先开发出6" WPSS及6" DPSS以迎做好接次世代规格的准备。
中美晶表示,未来中美蓝晶与兆远合并后,不仅可藉由技术整合及产能扩增,以提升设备运作效益及发挥规模经济效果,亦将结合生产研发技术能力,藉由研发领先拉开与其他对手的距离,与客户共同追求高亮度的科技潮流。
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